M7163平面磨床导轨设计。导轨是M7163平面磨床上保证实现精密微量进给的重要要素之一，虽有多种形式可供选择，但M7163平面磨床厂家采用得最为广泛的是M7163平面磨床液体静压导轨和M7163平面磨床气浮导轨。前者的刚度可达6KN~8KN/µm，并能保证M7163平面磨床位移精度0.02µm~0.04µm/400mm行程；後者的刚度为1KN~2KN/µm，当气膜厚度为4µm~8µm时，也能保证与M7163平面磨床液体静压导轨一样的位移精度。M7163平面磨床液体静压和气浮导轨的直线性均可高达0.02µm/100mm。M7163平面磨床厂家在总体布局设计上，M7163平面磨床的结构应分成承载部分和计量部分。此时，M7163平面磨床厂家所能实现的精度在很大程度上取决于测量M7163平面磨床系统的有效性。因此，M7163平面磨床厂家采用像激光干涉仪这样的高精度、高分辨率的仪器作测量装置，并将其单独安装在M7163平面磨床气浮支承的计量支架上，而且不仅安装测量M7163平面磨床装置时要遵守阿贝原理，在更广义理解上，也要遵守阿贝原理。阿贝原理要求，测量M7163平面磨床轴要接近于刀尖，以便消除按杠杆原理放大误差的可能性。从这一立场出发，M7163平面磨床导轨和测量M7163平面磨床装置应位于同一水平面上，在M7163平面磨床的承载系统中要避开采用悬伸和刚度不恒定的构件。 在M7163平面磨床整体和M7163平面磨床各部件所完成的功能分配方面，在多数情况下，一台M7163平面磨床只实现一种加工方法，每个部件也只完成一个固定的功能运动。这样做的目的是简化M7163平面磨床结构和更易于根据精度指标进行优化，而M7163平面磨床厂家无需采取妥协（折衷）的办法。――这一点是与目前一般M7163平面磨床的设计发展趋势――复合化，扩大工艺可能性――是不一样的，或者说是正好相反的。  M7163平面磨床厂家为了保证超精密加工的目标顺利实现，M7163平面磨床厂家设计必须考虑采用主动控制的隔振系统和在线的误差自动补偿技术。这是因为很难保证M7163平面磨床所要求的零件制造精度，同时也很难完全消除振动和热因素带来的负面影响。